技术参数及要求：
基片尺寸： Φ 5 Φ 100mm 圆片，ZUI大 100 × 100mm 2 方片
转速： 50 0 8 000RPM
转速稳定性： 1%
旋涂均匀性： 1
旋涂工艺阶段： 2 段
旋涂时间：Ⅰ速 0 18S, ZUI大（ 0 60S ）；Ⅱ速 0 60S, ZUI大（ 0 180S
整机尺寸（ 长宽高 210 mm × 2 6 0 mm × 275 mm
裸机尺寸 长宽高 210 mm × 2 6 0 mm × 1 55mm
电机功率： 40W
适应材料：硅片、玻璃、石英、金属、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各种材料
配套 无油真空泵参数：
型号： K W 550A/KW 550T
抽速： 1 .5 升 秒
功率： 3 20W
噪音： 50db
ZUI低真空度： 700mmHg
重量： 7.3 Kg
尺寸 长宽高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽气速率： ：>60L/min
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
售后服务承诺
免费上门安装：否
保修期：1年
是否可延长保修期：否
保内维修承诺：质保一年
报修承诺：24小时回电
免费仪器保养：3月1次
免费培训：电话或者微信技术培训
现场技术咨询：无
