■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-200W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性。
● 标准配备数字式皮拉尼传感器，实时显示真空度，使得控制更为精确。
● 高硼硅玻璃腔体非常适合于实验室处理比较纯净的精元、硅片等样品，无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。
■ 安全性·保护
● 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯，可实时监测和了解机器的运转状态。
● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。
■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好，清洗过程中无废液产生，安全环保。
●几乎所有的材质样品都可以进行等离子清洗。
●等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。
●高效的特制电极，保证等离子体能够均匀产生。
规格：
型号 | PR200 | PR301 | |||
方式 | DP模式、圆柱形腔体 | ||||
性能 | 发生器功率： | 0-200W | 0-300W | ||
发生器频率： | 射频RF13.56Mhz | ||||
发生器匹配方式： | 自动匹配（Auto matching) | 手动匹配（manul）
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构成 | 腔体材质： | 高硼硅玻璃 | |||
腔体内尺寸： | φ100×L160mm | φ118×L160mm | |||
反应气体： | 一路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。 | ||||
控制方式： | 半自动控制 | ||||
真空度显示： | 数字式皮拉尼传感器，实时显示腔体内真空度。 | 模拟式压力表 | |||
配管材质： | SUS不锈钢以及特氟龙 | ||||
门： | 铰链门 | ||||
外形尺寸： | W350×D400×H500mm | W438×D520×H630mm | |||
真空泵抽速： | 4m3/hour | ||||
电源规格： | AC220V 10A | ||||
重量： | 约25kg | 约34kg | |||
附属品 | 真空管件一套、真空转接接头一套、试料托盘一枚。 | ||||
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
