英国Cressington高性能离子溅射仪系统是现阶段配套扫描电镜SEM,透射电镜TEM,电子探针最佳的配套前级样品处理系统以及均匀高导电率的电极薄膜制备,溢鑫科创Yi Xin Technology是Cressington在中国唯一官方授权代表,全权负责此产品在国内产品销售,售后服务,市场推广和授权等工作。
Cressington 108 SPUTTER COATER
Cressington 108/108Auto离子溅射仪是用于电镜样品前处理,制作电极的最先进高质量的镀膜仪系统
主要优势功能:
自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和最佳的导电喷镀效果。
通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。
操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果。
可配备MTM-10高分辨膜厚监控仪(选件)(分辨率优于0.1nm,-99.9nm到+999.9nm)
数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。
可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd,Ag等,靶材更换快速方便。
技术规格:
样品仓尺寸: 120 x 120mm(高) (4.75 x 4.75"),高强度硼硅酸盐透明玻璃
样品台:直径63mm,可放置12个标准SEM样品座,高度可在 60mm内调节
溅镀优点:基于微处理器反馈控制,远程电流/电压感应;提供真空安全联锁装置,最大180A,配有过流保护
溅射控制:微处理器控制,安全互锁,可调,最大电流40mA,程序化数字控制
溅射头:低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩
模拟计量:真空 Atm - 0.01mb 电流: 0 - 200A
厚度监测器: MTM-10高精度厚度监测器(选配)
控制方式:自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(0-300s),自动放气
电源:200-240 VAC, 50/60Hz
功率:1000VA (包括镀碳机和真空系统)
氩气: 纯度优于99.9%,压力调节0.5-0.6 bar, 6mm连接软管
备注:为保证销售渠道正规,配套方案先进及统一的市场管理和售后服务,英国cressington在各个国家都只设唯一授权代理,中国官方授权总代为:溢鑫科创Yi Xin Technology,详细信息请参考英国原厂官方网站。
注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途