六维超高精密手动位移台NFP-6561/6561L

■技术指标                                                                                                 ◆Tx：13mm                                ◆Ty：13mm                                    ◆Tz：6mm                            ◆θx：-10°～10°                           ◆θy：-2°～４°                         ◆θz：-４°～４°                                         ◆灵敏度：1μm                                    ◆X.Y.Z轴直线度：<3μm

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