Faraday系列电容传感器/位置传感器

Faraday系列电容式位置传感系统由传感器、位置监视器、数据通讯和软件平台构成，具有亚纳米级分辨率、高速采集与通讯50kSa/s、宽量程覆盖0.2~3mm、高线性度≤±0.01%FSO、非接触测量等特点。探头部分提供平板、圆柱和螺柱三种探头，有高真空、超高真空和无磁材料版本可选，支持灵活定制。