帕克 NX20 原子力显微镜 化工研究

特点：

◆介质和基底的表面粗糙度测量

◆缺陷成像和分析

◆高分辨率电子扫描模式

◆3D结构边墙测量

◆精确的原子力显微镜形貌和低噪音Z探测器

规格参数：

 

型号		Park NX20
扫描仪	XY扫描仪	100um*100um(可选10um*10um或50um*50um)
	Z扫描仪	15um(可选30um)
	形貌噪音	<0.03nm(标准值0.02nm）
光学	物镜	10X（20X可选）
电子	ADC	18个频道 4个高速ADC频道（50MSPS）24位ADC的X,Y和Z位置传感器
	DAC	12个频道 2个高速DAC频道（50MSPS）20位DAC的X,Y和Z定位3个频道的集成锁定放大器
样品台	XY平台行程	150mm x 150mm；200mm X 200mm
	Z平台行程	25mm
	聚焦平台行程	15mm
	样品尺寸	高达150mm或直径200mm最多厚20mm
物理信息	外形尺寸	820mm（长）X920mm（宽）X1280mm（高）

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