Park帕克NX15原子力显微镜

Park帕克NX15原子力显微镜是一款专为晶圆测量与分析设计的高性价比大样品AFM系统。其采用独立闭环XY与Z扫描器，彻底消除串扰与弓形，实现平整正交的高保真扫描与精准纳米计量。系统配备150mm×150mm全电动样品台，支持MultiSample™功能，可一次自动扫描多达16个样品，大幅提升检测效率。此外，其具备真正非接触模式与低噪声Z探测器（噪声低至0.02nm），在保护探针与样品的同时，可获得高分辨率形貌数据，是共享实验室与晶圆故障分析的理想选择。