日立紫外清洗设备采用紫外光和臭氧对样品表面进行清洁,特别适用于有机污染物的去除,相较于等离子清洗更为温和,减少对样品的损伤。该设备提供两种清洗模式,并能在1分钟至24小时内灵活设置清洗时间,同时配备高效的无油真空系统和适配多种扫描电镜的样品仓,确保清洗效果与便捷操作。
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