日立冷场发射扫描电镜SU8600

FE-SEM因其高分辨率和丰富的信息，在纳米技术、半导体、电子器件等领域广泛应用。为应对市场对高通量和自动数据获取的需求，SU8600系列引入了自动调整功能和多种新型选配检测器，提升了信号检测能力和数据获取效率，支持低加速电压观察，并能同时显示和存储多路信号，显著提高数据质量和分析精度。