TESCAN超高速聚焦离子束系统FERA3
世界第一个完全集成式Xe等离子源聚焦离子束扫描电子显微镜----FERA3，提供了超高离子束束流（最高束流为2μA），其溅射速度比Ga离子源高50多倍。对于目前浪费时间或不可能进行的需要刻蚀的材料，FERA3型仪器是一个不错的选择。
新一代的聚焦离子束扫描电子显微镜为用户提供了最新的技术优势，例如：改进的高性能电子设备使图像采集得速度更快，带有静态和动态图像扭曲补偿技术的超高速扫描系统，内置的编程软件等。
FERA3的设计适应各种各样的SEM应用与当今研究和产业的需求，其高分辨率、高电流和强大的软件使TESCAN FIB-SEM成为优秀的分析工具。
现代电子光路
独特的三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计提供了许多工作与显示模式，体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计
结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束
全自动的电子光路设置与合轴
成像速度快
使用3维电子束技术可获取实时立体图像
三维导航
高性能离子光路
高性能的等离子i-FIB设备使切片和材料的刻蚀既快又精确
维修简单
现在保持电镜处在优秀的状态很简单，只需要很短的停机时间。每个细节设计得很仔细，使得仪器的效率最大化，操作最简化。
自动操作
电镜除了可以自动化设置外，还可进行聚焦、调节对比度/亮度等自动操作。除此之外，电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序，能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言（Python）可进入软件的大多数功能，包括显微镜控制、样品台控制、图像采集、处理与分析等。通过脚本语言用户还可以自定义自动操作程序。
用户界面友好的软件与软件工具
用户界面友好的操作系统基于Windows™平台，多用户和多语言操作界面
同时的FIB/SEM成像，易于操作
实时图像支持多窗口模式，可自定义实时图像参数
图像处理，报告生成，在线与离线图像处理
项目管理软件
内置的自动诊断（自检）
TCP/IP远程控制，网络操作与远程进入/诊断
免费升级软件
TESCAN FERA3氙等离子超高速双束FIB系统（XM）
分析潜力
高亮度肖特基发射可获得高分辨率，高电流和低噪声的图像
选配的In-Beam二次电子探头可获取超高分辨率图像
三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计
结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™）可模拟和进行束斑优化
成像速度快
低电压下的电子束减速模式（Beam Deceleration Technology – BDT）可获取高分辨率图像（选配）
In-Beam背散射电子探头，用于在小工作距离下得BSE图像（选配），甚至适合铁磁性样品
全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控
完美的几何设计更适合安装能谱仪（EDX）、波谱仪（WDX）、背散射电子衍射仪（EBSD）
由于使用了强力的涡沦分子泵和干式前置真空泵，因而可以很快达到电镜的工作真空。电子枪的真空由离子泵维持。
自动的电子光路设置和合轴
网络操作和内置的远程控制/诊断软件
3维电子束技术提供实时立体图像
低真空模式下样品室真空可达到500Pa用于观测不导电样品
独特的离子差异泵（2个离子泵）使得离子散射效应超低
聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器
聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒
高束流下超高的铣削速度和卓越的性能
FIB切割、信号采集、3维重构（断层摄影术），3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化
成熟的SEM/FIB/GIS操作软件，图像采集、存档、处理和分析功能
FERA3配置
FERA3 XMH
是一款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，在真空模式下工作。
FERA3 XMU
是一款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，可在高真空和低真空模式下工作。
软件（标配）：
测量
图象处理
3维扫描
硬度测量
多图像校准
对象区域
自动关机时间
公差
编程软件
定位
投影面积
EasySEMTM
配件：
二次电子探头
背散射电子探头
In-Beam SE
In-Beam BSE
探针电流测量
压差式防碰撞报警装置
可观察样品室内部的红外线摄像头
TOP-SIMS
二次离子探头
等，各种配件可供选择
关于TESCAN
TESCAN发源于全球最大的电镜制造基地-捷克Brno，是电子显微镜及聚焦离子束系统领域全球知名的跨国公司，有超过60年的电子显微镜研发和制造历史，是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者，也是行业领域的技术领导者。
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
