VEGA系列的设计适合各种SEM应用及当今研究和工业的需求。经过10多年的不断发展，TESCAN已经成功开发、研制和制造了VEGA的第三代产品。新一代的VEGA给用户带了最新的技术优势，包括改进的高性能电子设备使成像速度更快，包含了静态和动态图像扭曲补偿技术的超快扫描系统，内置的编程软件等，使VEGA系列产品保持着非常高的性价比。
LaB6发射源
TESCAN能提供介于肖特基与钨灯丝性能之间的LaB6（六硼化镧）作为电子发射源。LaB6的优势包括：稳定的电子发射源（与场发射电子源相比），在阴极较低温度下可获取比较高的束流（与钨灯丝电子源相比）。这就意味着在整个范围的加速电压和很长的使用寿命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的发射电流，LaB6是需要大电子束流应用领域的正确选择。
现代电子光路
独特的四透镜大视野光路设计提供各种各样的工作与显示模式
以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同"光阑转换器"
透镜与线圈的优质材料使成象率达到20ns/像素，并减少了动态扭曲效应
结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束
镜筒设计提供了全自动电子光路设置，镜筒不含机械对中结构
3维电子束技术提供了实时立体图像
检修方便
只要很短的停机检查后就能保持电镜长时间处于最佳状态。每个细节设计得很仔细，使得仪器的效率最大化，操作最简化。
自动操作
通过一次点击就可以进行自动灯丝加热和电子枪对中。众多的自动程序减少了用户的操作时间，并提供了操作的自动导航与自动化分析。通过内置脚本语言（Python）用户可以进入软件大多数功能，包括电镜控制、样品台导航、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户也可以自定义软件的自动操作。
用户界面友好的软件
用户界面有各种语言版本
多用户界面（包括了EasySEMTM模式）不同账户的权利使常规分析过程更快
图像文件管理与报告生成
内置的自动系统检查
通过局域网或互联网可实现电镜远程诊断
模块化软件体系结构
标准的软件模块包括了：测量工具、图像处理、对象区域等
选配软件包括了：颗粒度分析、三维表面重构等
VEGA3 LM
VEGA3 LM是一款由计算机控制，可在高真空和低真空模式下工作全自动化钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
分析潜力：
LM大样品室、5轴马达驱动样品台
样品室有11个接口，适用于安装EDX、EBSD、EBIC等探头
一流YAG 闪烁体探头
选配包括了各种探头于可选的配件
涡轮分子泵和机械泵同时工作，几分钟可达到仪器操作需要的真空状态
在可变真空模式下可观测不导电的样品（LMU型号）
可选的样品室减振方式
3维Metrology软件提供了三围重构与3维测量功能
VEGA3配置
VEGA3 LMH
高真空式SEM，配备有5轴马达驱动样品台，适用于观测小型导电样品。
VEGA3 LMU
可变真空式SEM，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测非导电样品，不需要喷金。
软件（标配）：
测量
图象处理
3维扫描
硬度测量
多图像校准
对象区域
自动关机时间
公差
编程软件
定位
投影面积
EasySEMTM
软件（选配）：
根据实际配置和需求
配件（标配）：
二次电子探头（SE），ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）
可移动式背散射电子探头（RBSE）*，可移动环行闪烁体类（YAG）具有高灵敏度和原子序数分辨率（0.1Z）
探针电流测量
压差式防碰撞报警装置
可观察样品室内部的红外线摄像头
冷台等，各种附件可供选择
技术规格：
Electron Gun: | 钨灯丝/LaB6 |
Resolution: | 高真空（SE）： 3 nm @ 30 kV / 2 nm @ 30 kV 8 nm @ 3 kV / 5 nm @ 3 kV 低真空模式（LVSTD，BSE）： 3.5 nm @ 30 kV / 2.5 nm @ 30 kV |
Magnification: | 2~1,000,000x |
Maximum Field of View: | |
Accelerating Voltage: | 从200 V 至 30 kV |
Probe Current: | |
关于TESCAN
TESCAN发源于全球最大的电镜制造基地-捷克Brno，是电子显微镜及聚焦离子束系统领域全球知名的跨国公司，有超过60年的电子显微镜研发和制造历史，是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者，也是行业领域的技术领导者。
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
