残余气体分析仪（RGAs）

英福康残余气体分析仪（RGAs）用作诊断工具，帮助工艺工程师持续监测制造过程中存在的污染气体并检验预期工艺气体的存在。

残余气体分析仪（RGAs）的Transpector®家族
Transpector®气体分析仪为真空过程监控、过程诊断和检漏提供精确、可靠的数据。