等离子清洁仪

PDC-32G等离子清洁仪是一种紧凑、桌面式仪器。用于纳米表面清洁,表面活化、表面化学蚀刻。等离子体处理可应用于多种多样的材料,包括玻璃、半导体、高分子材料、金属。有效的应用包括基片表面清洁以增强附着力,pre-bond基质对微流体器件的制备、生物聚合物的制备和表面改性。

调节射频功率(低、中、高功率设置):zei大18W
腔体：直径3 in x 7 in（可选石英腔体）
阀门总成：控制气体流量
需要单独一个真空泵运行等离子体的过程
可选配气体混合控制器：控制2路以上气体混合及流量，并监控腔体的真空压力
外型尺寸（L × W × H） 8 in. × 10 in. × 8 in.
腔体尺寸（ diam. × L ）3 in. × 7 in.

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