Si上镀Al薄膜（Aluminum Film on Silicon Wafer）

常规尺寸：

dia 4" ±0.5 mm  x 0.525 ±0.025 mm 

技术参数：

Al薄膜厚度：3um

薄膜电阻率：2.65  micro ohm-cm

薄膜结晶：Weak (111) - oriented poly-crystals

薄膜表面粗糙度：4.87 nm and  < 10 nmSi

导电类型：N型Si

电阻率：<0.005?ohm-cm?；1-10ohm-cm?

Si晶向：<100>±0.5°抛光情况：单抛

标准包装：

1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装