Si/SiO2/Ta/Cu薄膜_价格_型号_参数-仪器仪表网

产品名称：	Si/SiO2/Ta/Cu薄膜?（进口?Cu?Epi?Film?Coated?on?Ta/SiO2/Si?Wafer）
技术参数：	Cu<111>参数：100nm400nm(highly?oriented?poly-crystalline?Cu) Ta厚度：20-50nm （Ta diffusion barrier） Si/SiO2参数：<100> P型掺B；300nmSiO2；R:1-20ohm-cm;单抛Si/SiO2尺寸：dia 4inch x 0.525mm 表面粗糙度：As grown
产品尺寸：	dia4 inch or 10x10mm
标准包装：	1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒

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