安捷伦 涡轮分子泵的一体式控制器 TwisTorr 84 FS

TwisTorr 84 FS 一体式控制器是一种小型涡轮分子泵控制单元，能够通过主动式真空计读取压力。小巧的体积可实现多种安装形式，模拟和串行接口可轻松实现系统集成。一体式控制器可安装在泵上或泵旁，提供两种版本供选择：24 Vdc 或 100–240 Vac。