卡博莱特-盖罗管式炉真空套件

卡博莱特管式炉真空套件为真空应用提供完整系统，包含真空泵、惰性气体流量计、真空计及安全阀等核心组件。提供旋片泵和涡轮分子泵两种选项：旋片泵抽速4 m³/h，可达5×10⁻² mbar真空度，适用于常规真空需求；涡轮分子泵配合前级泵抽速65 L/s，真空度高达5×10⁻⁵ mbar，能高效去除重烃类污染物，确保炉膛高纯度气氛。系统集成快速吹扫旁路与惰性气体回填功能，兼顾操作效率与工艺安全。