OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发管式炉，专门针对于用PVD或CSS法来制作薄膜。此款管式炉炉管直径为11" OD，炉管内载样盘可放置3" 的圆形或2"x2"的方形基片。加热元件为两组红外灯管，分别安装在腔体的顶端和底部，其升温速率高达20oC/S 。温控系统为PID30段程序化控制，控温精度为+/-1oC。仪器面板上带有RS485接口，若仪表内配有控温软件，就可将升温程序和曲线导出.
技术参数
真空腔体 | 腔体为一高纯石英管 尺寸： 11" OD x 10.8"ID x 9" H |
真空法兰 | 真空法兰材质为316不锈钢制作 顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口 底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封，通过真空度可达10-2 torr两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动 一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可精确测量腔体内真空度 |
混气系统 | 可以选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用（本公司生产多路浮子和多路质子混气系统） |
加热元件和载样台 | 由两组IR红外灯管进行加热 额定功率800 W 总功率：1600W 为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上 一个3"的基片载样台安装腔体顶部 紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片（3"Dia x0.5mm Thick ），使其仪器使用时样品基片上的温度更加均匀 3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料 |
|
两个K型热电偶分别安装在上下法兰上 |
温控系统 | 两个控温系统都为PID30段程序化控温 可以选购PC控温软件，将温度程序设置和温度曲线导入电脑中 |
工作温度 | 两个加热区域单独工作的最高温度： <= 650oC 两个加热区域最大温差: <= 350 oC |
加热和冷却速率 | 加热速率: > 8 oC /S 冷却速率: > 10 oC /S ( 600 - 100oC) |
电源 | 208 - 240VAC, 单相, （需20A的空气开关） |
可选配件 | 本公司出售真空泵和水冷系统 |
（点击图片查看详细资料）
近距离蒸发镀膜 （ CSS）炉由合肥科晶材料技术有限公司 为您提供，如您想了解更多关于近距离蒸发镀膜 （ CSS）炉报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。
拨打电话
发送询价