安捷伦 双级旋片泵 DS 602

DS 602 是一种双级油封旋片泵，抽速可达 25 m³/h 或 17.6 CFM，可实现< 2 x 10^-3 mbar 的极限压力。DS 602 在极低的声压水平下运行，可采用配备集成式电源开关的通用电压单相电机，也可选配三相电机。

集成到泵中的抽气口隔离阀可在泵的电源中断时关闭抽气口。该防返油阀可保持前级泵内的真空度，并防止泵油污染真空室。DS 602 配备手动气镇阀，当其打开时，可使泵达到额定的 550 gr/h 水蒸汽处理规格。