安捷伦 双级旋片泵 DS 102

DS 102 是一种双级油封旋片泵，在 50 hz 下抽速可达 5.0 m³/h，在 60 hz 下抽速可达 3.5 CFM，并可实现< 2 x 10^-3 mbar 的极限压力。DS 102 采用配备集成式电源开关的通用电压单相电机。

集成到泵中的抽气口隔离阀可在泵的电源中断时关闭抽气口。该防返油阀可保持前级泵内的真空度，并防止泵油污染真空室。DS 102 配备手动气镇阀，当其打开时，可使泵达到额定的水蒸汽处理规格。