3D光学干涉测量系统

主要特点(1) 高测量性能

垂直方向分辨率	利用光干涉方法，通过独自的算法，实现0.01 nm*的垂直方向分辨率
重现性	利用干涉条纹测量凸凹的高度，通过将来自Z驱动机构的影响zei小化，实现0.1 %以下的重现性
测量速度	由于不需要样品的前处理，只要将样品放置在样品台上即可完成测量准备。通过光干涉方法zei快5秒钟即可完成测量
测量视野	以从干涉条纹获取的信息为基础进行凸凹高度的测量，由此可实现广范围（One-shotzei大6.4 mm×6.4 mm）测量与高垂直方向分辨率的两者兼顾。此外，通过连接多个数据的图像，可进一步实现广范围的分析
无损伤测量	通过日立高新技术科学自主研发的技术，对玻璃和薄膜等透明多层结构样品进行测量时，无需对样品进行加工切割成截面，即可在无损伤的情况下，完成多层结构样品的各层厚度或异物混入状况的确认以及缺陷分析等

*

Phase模式时

(2) 易于使用的操作界面

采用直观易懂的操作界面，能够轻而易举地进行图像分析处理前后的图像对比，从而支持分析时的zei合适图像处理选择。此外，可简单地列出处理与分析的内容、创建独自的分析参数、重复使用分析参数等，并且还可批量处理数据，由此实现统一管理多个样品和分析结果，减轻繁琐复杂的后处理。

(3) ISO 25178参数对比工具

在对比多个样品时，通过将ISO 25178标准中规定的32项参数值按差异的大小顺序重新排列，从而在样品对比时能够轻松选取zei适参数，支持客户的分析业务。

(4) 硬件升级

按每一台XY样品台的驱动方式，设计了3个类型的产品，即基础模式的手动型Type 1、电动型Type 2、Type 3。从Type 1到Type 2、Type 3，均可根据不同的用途进行升级。

设备规格与价格

		Type 1	Type 2	Type 3
Z轴	马达驱动	标准搭配（zei大测量Z轴高度～10 mm）
	PZT驱动	选配（zei大测量Z轴高度～150 μm）
XY样品台	驱动方式	手动	电动
	移动范围	±50 mm	±75 mm
	样品台尺寸	W205×D150 mm	W225×D225 mm
测角台	驱动方式	手动		电动
	移动范围	±2°	±5°
观察相机		标准相机或超高像素相机
镜筒		×1　或 ×0.5
变焦镜头（×0.7）		新增选配
物镜		×2.5　×5　×10　×20　×50　×110
样品高度	标准	0～50 mm
	使用加高配件时	50～100 mm	0～100 mm
电脑OS		Windows 10
减震台（带支架）		被动式或主动式

3D光学干涉测量系统由日立高新技术公司 为您提供，如您想了解更多关于3D光学干涉测量系统报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。