日立AFM100系列多功能扫描探针显微镜

日立AFM100系列是一款高精度通用型扫描探针显微镜，主打高分辨率与多场景适配（研发/生产/教育）。其核心卖点包括：1）创新预装探针系统和宽正面结构设计，实现快速更换且避免损伤；2）一键式自动测量-分析流程（Autopilot功能）显著提升检测效率；3）支持AFM-SEM-EDS多模态联用，通过标记功能精准定位同一观测区域。系统配备SLD光源和热漂移抑制技术（漂移<0.03nm/s），保障数据可靠性，可选SIS模式应对复杂样品。限制：最大样品尺寸50mm×20mm，部分扩展功能需选配。