超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列

日立SU8600系列超高分辨场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）采用冷场发射技术，提供0.6nm@15kV的超高分辨率成像，支持0.5-30kV宽范围加速电压，特别适合低电压观察敏感材料（如高分子）和3D NAND等复杂结构分析。其核心卖点包括：1）**高通量自动化**，标配自动调谐功能，可选配EM Flow Creator实现多条件数据自动采集；2）**多信号同步检测**，最多支持6通道信号同时显示与存储，搭配新型OCD探测器提升BSE成像速度（＜1秒）；3）**大尺寸成像**，选配40,960×30,