日立CS4800高解析度FEB测量装置/关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）

日立CS4800是一款高解析度CD-SEM，专为4/6/8英寸晶圆（包括SiC、GaN等材料）的精确测量设计，测量精度达1nm（3σ）。其核心优势包括：搭载光学轴自动调整技术减少人为误差，高精度图像处理实现Recipe自动化测量提升产能，以及多尺寸晶圆自动搬送系统（兼容双装片装置）。紧凑设计便于产线整合，GUI简化操作流程，特别适合现有产线升级或联合使用。设备尺寸为1180×2500×1990mm，适用于半导体制造中的关键尺寸检测需求。