日立CR7300高速缺陷观测设备(Defect Review SEM)/高速缺陷检测扫描电镜（SEM）

日立CR7300高速缺陷观测设备（Defect Review SEM）是一款专为半导体晶圆缺陷分析设计的扫描电镜，集成自动缺陷检测（ADR）和分类（ADC）功能，通过高精度坐标定位自动获取、存储并分类缺陷图像，显著提升良率管理效率。其核心卖点包括高解析度SEM成像、高速ADR摄像（支持裸晶圆检测）以及人性化GUI操作界面，可选配ADC模块实现实时分类。设备支持与良率管理系统（YMS）联动，为故障分析提供数据支持，但需依赖前期检测系统的缺陷坐标输入。适用于Inline制程的快速缺陷观测与分类需求。