日立 CT1000缺陷形貌检测SEM

日立CT1000是一款专为半导体及MEMS传感器设计的缺陷形貌检测SEM，支持Φ200mm以下晶圆的自动传送与精确定位，可倾斜55°进行3D观察，结合可选EDS实现元素分析。其五轴样品台能最小化视野偏移，7nm高分辨率可清晰检测30nm级表面粗糙度，助力G&C设备开发周期缩短和质量提升。主要卖点包括全自动晶圆处理、三维缺陷分析及产率问题诊断，但EDS功能需选配，且仅支持8英寸及以下晶圆。