国仪量子SEM5000Pro 场发射扫描电镜

低电压高分辨的热场发射扫描电镜，1.2 nm@1 kV 分辨。低压下的成像分辨能力提升，可对不导电样品或半导体样品进行直接观察，有效降低了样品辐照损伤。