Q300T D Plus –双靶顺序溅射镀膜仪

简介 Q300T D Plus是一款双靶顺序溅射镀膜仪，专为150mm直径试样设计。该设备支持两种材料的多层顺序溅射，配备两个独立溅射头，可在不破坏真空的情况下连续溅射两种金属。作为全自动系统，它允许用户自定义配方来控制镀膜过程中的各项参数，并能够在两个靶之间循环以形成不同厚度的膜层。此外，非工作状态下，镀膜腔室可维持真空状态以避免污染。        Q300T D Plus–双靶顺序溅射镀膜仪，适用150mm直径的试样        Q300T D Plus适用于两种材料的多层顺序溅射，具有两个独立的溅射头，无需破坏真空即可连续溅射两种金属。该系统是全自动的，用户定义的配方可以控制泵、镀膜顺序、镀膜时间、溅射循环次数和工艺过程中使用的电流等。通过在两个靶之间循环，可以依次溅射来自两种靶材料的厚度不同的膜层。不使用时，镀膜腔室可保持在真空环境下，以防止污染。