电子显微镜专用纳米机械手解决方案

简介

Imina公司的miBotTM是全球zui紧凑的4自由度纳米定位机器人，专为FIB/SEM电性测量设计。它采用自由移动机制，可在载台表面自由移动，并提供纳米级定位分辨率。miBotTM具备高刚度手臂和厘米级移动范围，支持多种配置选项，包括变温载台、EFA电性失效分析、XYZ子样品台等，适用于纳米分析、半导体器件分析、电性测量等多种应用。其直观的操作设计减少了样品损坏风险，提高了测量效率和数据准确性。

Imina公司的miBot™是体积非常袖珍的纳米机械手，具有4个自由度及纳米定位分辨率，专为FIB/SEM电性测量及分析开发。与传统纳米机械手不同，miBot™是一种自由移动机械手，几乎不受限制，能够在载台表面自由移动。由于采用非固定安装，miBot™可以定位任意位置同时能够测量各种外形样品。miBot™采用压电陶瓷驱动，运动范围达厘米级，定位分辨率从微米到纳米不等，步进模式能够快速移动探针指感兴趣区域，而扫描模式能够快速落针。miBot™具备高刚度手臂使其抗震性好，其无与伦比的稳定性确保了即使在zui小的样品上也能长时间保持稳定接触。miBot™移动均在本身方向进行，无需传统旋转和平移耦合控制，因而操控非常直观。用户很快可掌握，大大减小损坏样品的风险，用户也更为直观实现各类电学测量分析。

  功能丰富且容易满足各类样品需求

  优化的操作设计确保操作简单、测量安全可靠、数据传输快

  兼容低加速电压和短工作距离分析，同时支持磁性镜筒的高分辨率成像

  55°倾斜角度下依然能长时间稳定定位和电学接触，满足FIB原位分析

  厘米级移动范围，高达15μm范围高精度纳米级精细运动控制

  适配小工作距离

  适配磁性镜筒平台

  适配FIB大倾转分析

  标准纳米钨针

  光纤机械手

  配置灵活方便

 可选配置： 1. 变温载台：

温度范围：-30℃~+150℃，可连续精准控温

温度稳定性：<0.05℃

可折叠散热器满足小腔体SEM安装

Peltier半导体制冷无震动

2. EFA电性失效分析

专为EBIC、EBAC/RCI和EBIRCh的高效精确缺陷定位设计

实时成像，缩短数据传输时间

自动路径规划简化操作流程

各种故障案例进行高性能分析

3. XYZ子样品台

在电镜载台运动外增加样品独立XYZ调节

降低探针落针时间及满足批量测量

行程范围：5mm（X/Y），330μm（Z）

分辨率：2nm（X/Y），7nm（Z）

4. 软件模块化纳米分析工作流程

预设分步式流程，降低学习曲线并减少数据处理时间

快速设置工作流程，轻松完成落针

配备预定义的测量配方

管理测量数据库，轻松进行曲线对比及结果导出

5. 大样品载台

双层架空设计

zui大支持2英寸晶圆以及先进封装和横截面样品测试

不同高度支架选择满足各种高度样品分析

6. 标准失效分析设备设计 

可选标准19寸机柜，可容纳各类控制器及标准可参数分析仪

标准工具和配件工具箱

预装软件工作站及配套显示器