电子束束闸系统

简介

DEBEN PCD型电子束闸专为高速开关电子束设计，适用于扫描电镜（如场发射、钨灯丝和六硼化镧类型）。其主要功能包括电子束光刻、阴极荧光、EBIC/电压对比、EDX等。该束闸具有50ns的开关速度、1MHz的zui大频率及5V TTL输入，可通过RS-232远程控制，并集成了法拉第杯以测量电子束强度。适用于JEOL和Hitachi SEMs束闸安装与电镜镜筒PCD端口，电压范围1kV~30kV。

电子束束闸用于开关扫描电镜电子束（打开和关闭电子束），这种功能主要需要用于电子束光刻，有时EDX、CL或EBIC也需要使用。许多SEM都有一个内置的电子束开关，通过用扫描线圈使电子束关闭。虽然这种方法适用于某些应用，但它通常在数毫秒内完成开关，如果需要更快的关闭速度，应该安装一个单独的电场型束闸。

DEBEN PCD型电子束闸适配与场发射扫描、钨灯丝扫描和六硼化镧扫描电镜，为其提供高速关闭电镜束，脉冲开关电子束以及其他形式的电子束控制。

n   电子束光刻

n   阴极荧光

n   EBIC/电压对比

n   EDX

n   电子声学显微镜

n   集成法拉第杯

n   50nS开关频率

n   电动插入

n   5V TTL输入

n   RS-232遥控

n   1MHzzui大频率

n   可用于JEOL和Hitachi SEMs

束闸安装与电镜镜筒PCD端口（物镜光栏对面）30kV电压下具有50ns的开关速度。集成一个法拉第杯在束闸前端，具备测量电子束束流强度的能力。如果您需要一个更加精确的电流数据，束闸的尾部具有一个BNC接口，允许外接皮安表读取。

束闸极板由钴金涂层的磷青铜制成，以确保在插入板时不影响扫描电镜的正常运行。极板可以伸到电子束光路中使用，在不使用时缩回。

极板的长度和间距是一个开关效率zui佳的设计，可适用的电镜电压范围1kV~30kV。