Q300T T Plus –三靶溅射镀膜仪

简介

Q300T T Plus是适用于200mm直径试样的大腔室涡轮泵溅射镀膜系统，适合溅射单个大直径试样或多试样，特别适用于薄膜及SEM/FE-SEM应用。该设备配备三个溅射头，确保均匀镀膜。

       Q300T T Plus–三靶溅射镀膜仪，适用于200mm直径的试样

       Q300T T Plus是一种大腔室涡轮泵溅射镀膜系统，非常适合溅射单个直径高达8〃/200mm的大直径试样或多个直径相似的较小试样。非常适合薄膜应用和SEM/FE-SEM应用。它配备了三个溅射头，以确保单个大样本或多个样本的均匀镀膜。