飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）

Kore SurfaceSeer I是一款高灵敏度 的TOF-SIMS（飞行时间二次离子质谱仪），具有高通量分析功能，可用于绝缘、导电表面的成像分析与化学成分分析。SurfaceSeer I 是研究表面化学的理想选择，适用于 研发和工业质量控制应用。

Kore SurfaceSeer I 是一款高灵敏度 TOF-SIMS，用于绝缘和导电材料表面的成像和化学测绘。该仪器是研究表面化学的理想工具，在研发或工业质量控制应用中同样适用。 SurfaceSeer I 使用与 SurfaceSeeer S 相同的 TOF-MS 技术，但配备了高亮度、高空 间分辨率的 25kV 液态金属离子枪（LMIG）作为主要离子源。LMIG 的探头尺寸≤ 0.5µm，可实现高分析空间分辨率。全自动计算机控制，允许在质谱采集期间扫描离子枪，从而可以收集到化学图像或图谱。另外还提供了一个二次电子探测器（SED），用 于调谐初级电子束和 SED 图像捕获。

带有12.7µm重复单元的铜格栅

TOF-SIMS的技术优势：

1. 优异的掺杂剂和杂质检测灵敏度，可以检测到ppm或更低的浓度

2. 深度剖析具有良好的检测限制和深度辨析率

3. 小面积分析（10 µm 或更大）

4. 检测包含H在内的元素及同位素

5. 优良的动态范围（6 orders of magnitude）

6. 在某些应用中可能用来做化学计量/组成成份

SurfaceSeer I 仪器特点：

• 配备25KV液态金属离子枪（LMIG）作为主要离子源，检测能力更强，质量分辨率更高；
  

• 具备表面成像和深度剖析功能；

• 提供的SIMS材料谱库包含上千种材料的质谱数据，可识别未知的化合物和材料；

• 可同时分析所有元素及有机物，可消除有机物和元素干扰，使谱图更清晰，检测限更低，能更有效地分析材料样品。

• 专用数据处理软件允许分析数据和样品的化学构成信息进行全面的交互提取，其所有储存的数据都能用于溯源性分析。

• 表面分析灵敏度高达 1x10⁹ atoms/cm²

SurfaceSeer I 应用领域:

• 表面涂层和处理
  

• 电子元件和半导体
  

• 电极与传感器
  

• 润滑剂
  

• 催化剂
  

• 粘合剂
  

• 薄膜等包装材料
  

• 腐蚀研究
  

• 大学教学与科研