技术参数;
真空腔体
类型
高温型 室温到400℃
高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃
腔体材质
304不锈钢
腔体内尺寸
Φ88mmX59mm
腔体外尺寸
Φ112X65mm
腔体重量
约2.6KG
腔体上视窗尺寸
Φ47mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离)
腔体抽气口
可扩展KF16法兰 KF25法兰
腔体真空测量口
KF16法兰(其余接口规格可转接)
腔体进气口
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 硅胶薄膜液体注射口 气管接头可选
腔体电接口
5KV高压电极,10KV高压电极,4芯8A气密封信号接口,8芯4A气密封信号接口,
腔体正压
≤0.1MPa
腔体真空度
机械泵≤5Pa (5分钟) 分子泵≤5E-3Pa(30分钟)
制冷接口
无
3mm液氮管道
样品台
样品台材质
无氧铜(可选纯银热台)
样品台尺寸
26x26mm
样品台加热方式
电阻加热
样品台-视窗 距离
48mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离)
样品台测温传感器
PT100型铂电阻
样品台温度
高温型 室温到400℃
高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃
样品台测温误差
±0.5℃
样品台升温速率
高温50℃/min 大值
客戶订制的真空室都可通过我们的工程设计,与您现有的真空系统融合,成为一套功能完整的系统。也可以通过我们的工程设计,预留标准接口及装配位置,方便您日后增配或更换真空部件,实现系统的升级或功能的转换