技术原理
该产品适用于气相法制备石墨烯材料，通过利用微波加热技术，通过微波能激发等离子体，导入气相成分，进行微波等离子体气相沉淀，在催化剂基底上生成石墨烯类碳材料产品，适用于高纯度碳材料制备，也适用于其他以含碳气相材料为原料的微波等离子体处理工艺。
产品特点
1、本产品采用气相法制备石墨烯材料方式，采用微波热等离子体技术，适合石墨烯原料制备工艺研究和小批量生产。
2、本产品等离子生长腔体采用洁净石英管结构，避免生产过程中的杂质污染，确保产品品质。
3、本产品设计连续气相生长功能，采用顶部4路进气混气，底部排料的结构。
4、本产品采用真空和微正压系统设计，反应室与外界密封设计，适合微波等离子体状态。
5、本产品设置真空管路和防爆泄压结构，支持真空、气氛和微正压环境。
6、本产品采用微波等离子体技术 ，功率智能调节，工艺性更稳定。
7、本产品采用PLC程序控制，触摸屏操作，工艺路线可实现自动化控制，工艺数据可读取。
技术参数
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产品名称 |
气相石墨烯生长炉 |
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型号 |
MCG-M10HBP |
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技术原理 |
微波等离子体（MPCVD） |
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设备形式 |
立式管道型，多路气氛，高真空密封 |
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进出料形式 |
进料：气态/ 出料：固态 |
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反应区尺寸 |
Φ200*500 mm |
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微波系统 |
微波功率10kW/2450MHz，系统水冷 |
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产成品 |
石墨烯粉体，产量和特性依据具体工艺要求 |
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监控视窗 |
垂直三个观察窗 |
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控制方式 |
PLC控制系统，彩色触摸屏操作，多参数显示 |
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安全措施 |
产品气体管路系统防爆设计 |
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微波防护 |
微波泄漏量：<5mW/cm2 (国标） |
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设备外尺寸 |
900×900×1700mm（长×宽×高） |
