特点/应用
◆ 满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等.
◆ 最大可用于6英寸以内样品测试
◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动
◆ 可放置于手套箱内使用
◆ 形状轻巧，操作方便，价格实惠
◆ 台体规格：
尺寸 4英寸/6英寸
水平旋转 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置
X-Y移动行程 2英寸*3英寸
X-Y移动精度 10微米
样品台Z轴调节 可升降10mm
样品固定 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
针座平台 左右各一个针座平台，最多可放置6个探针座
背电极测试 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极
外形尺寸 400mm长*380mm宽*500mm高
重量 约20千克
◆ 光学系统：
显微镜类型 单筒显微镜/体式显微镜
放大倍率 16X-200X
移动行程 水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm
光源 外置LED无极调节亮度环形光源
CCD 200万像素/500万像素/1200万像素
◆ 定位器：
X-Y-Z移动行程 12mm*12mm*12mm
移动精度 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
吸附方式 磁力吸附/真空吸附
线缆 同轴线/三轴线
漏电精度 10pA/100fA/10fA
固定探针 弹簧固定/管状固定
接头类型 BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
针尖直径 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
针尖材质 钨钢/铍铜
◆ 可选附件
加热台
显示器
转接头
射频测试配件
屏蔽箱
光学平台
镀金卡盘
光电测试配件
