Jandel公司提供的Multiheight Probe 测试台+ RM3000+测试单元结合可调节高度支架探头,可为各种各样的测量提供解决方案.
该测量精度范围：1×10-3~5×108Ω/□；1×10-3~1×106Ω.cm
这种组合方式是目前jandel公司最受欢迎的产品.
该系统可用于测量各种薄层的小尺寸样本以及直径300mm高250mm的晶圆锭 (检测厚样品之前要咨询)。
可测晶片直径 | D≤250mm，（可选配D≤300mm，无需付费） |
可测晶片厚度 | H≤250mm,(可更厚，请咨询) |
微动开关 | 防止探针不与样品接触时的电流流动 |
手动控制 | 探针接触和移动的简单杠杆操作 |
装配简单 | RM300和四探针探头通过单线连接 |
系统配置
组成部件：
1. 测试台——一个
2. 可调节高度主机——一台
3. 可调节高度轴杆——一根
4. 四探针探头——一个
5. 连接电缆——一根
设备尺寸：
可调节高度测试台： W×L×H（mm）250×290×8（320×370×8，可选）
可调节高度探头组件：W×L×H（mm）60×280×80（60×330×80，可选）
可调节高度的轴杆:D（mm）19；L（mm）200（可定制最高高度到1000mm）
型号 | 针尖角（u） | 压力（g） | 间距（mm） |
A | 40 | 100 | 1 |
B | 100 | 100 | 1 |
C | 200 | 100 | 1 |
D | 500 | 70 | 1 |
E | 40 | 200 | 1.591 |
F | 40 | 100 | 0.635 |
G | 100 | 100 | 0.635 |
H | 200 | 100 | 0.635 |
A-D型号和E-H型号 | |||
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
