名称：原子层沉积系统
品牌：PICOSUN
产地：芬兰
型号：PICOSUN™ ALD ALD P-300 系列
PICOSUN™ ALD P-300 Pro：Picosun™ 300mm生产线上的产品是300mm以下晶圆的自动化、高产量的工业ALD加工设备。包括PICOSUN™ P系列Pro和Advanced ALD设备。该工具可以独立工作，也可以集成到PICOPLATFORM™300真空集群系统以达到更高的产量和自动化水平。为了节约昂贵的设施空间，所有PICOSUN™的ALD系统有着紧凑、高效的设计。集成的专业机柜，装载着前驱体和电子元件，保证了快速简便的维护和最短的停机时间。PICOSUN™ P系列工具保证了最大产能以及最节约成本的情况下得到优秀的ALD工艺质量，并履行严格的现代半导体产业的生产力和安全要求。
工艺咨询和开发，产能提升，维护保养流程和系统及工艺的故障排除，我们客户化定制的PICOSUPPORT™综合解决方案24小时快速响应，随时待命。在购买之前，我们的演示服务保证了设备可以100%满足客户最苛刻的产线需求。
PICOSUN™ 300 mm 生产线应用案例
| 集成电路组件 | 微机电系统 |
| 氧化物间隔层 | 扩散阻挡层 |
| 间聚介质 | 耐磨涂层 |
| 高K栅介质 | 电荷耗散层 |
| 隧穿氧化物薄膜 | 导热层 |
| 氧化物阻挡层 | 导电种子层 |
| 钝化层 | 刻蚀阻挡层 |
| 间隙填充层 | 电绝缘层 |
| 覆盖层 | 防摩擦层 |
| 铜阻挡层和阻挡层 | 防粘着层 |
| 粘附层 | 光学薄膜 |
| 扩散阻挡层 | 生物兼容层 |
| 点极 | 密封层 |
| 金属化 | 纳米孔封堵层 |
| 其他 | 显示 |
| 晶体管 | 钝化 |
| 电容层 | 透明导电薄膜 |
| 存储器 | 绝缘层 |
| 读写磁头 |
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
