EcoSmart Drive系列纳米精度位移台
| attoECS系列位移台在提供极高精度位移控制的同时，保证了优异而极高的稳定性能，适用于室温、大气到超高真空环境中，负载可达几公斤，行程达到50mm，最小步长50nm，配备的光学位移传感器可将位移精度控制到10nm，提供多维度位移功能。 |
+ 在厘米级的行程范围内，达到纳米级高精度位移控制 + 极高的机械稳定性 + 位移驱动电压<45V，无需高压屏蔽 + 10nm位移精度，+/-200nm位移重复性，<0.01%绝对精度 + 特殊材质，兼容各种光学实验环境和超高真空环境 + 快速样品更换装置 |
attoECS系列位移台部分技术参数
| 产品名称 | ECS3030 | ECS3040 | ECS3050 | ECS3060 | ECS3070 | ESC3080 |
| 位移解码器型号 | 光电解码器 （/NUM) | |||||
| 适用环境 | /RT, /HV, /UHV | |||||
| 位移器尺寸（mm3） | 30x30x9.5 | 30x40x9.5 | 30x50x9.5 | 30x60x9.5 | 30x70x9.5 | 30x80x9.5 |
| 最大负载 | 90N | 120N | 150N | 180N | 210N | 240N |
| 最大速度 (45V, 5kHz) | 4.5mm/s | |||||
| 行程 | 20mm | 25mm | 30mm | 35mm | 40mm | 50mm |
| 传感器 | 10nm位移精度，+/-200nm位移重复性，<0.01%绝对精度 | |||||
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注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
