EL-FLOW® 金属密封型气体质量流量计/控制器

简介

布琅轲锶特高新科技有限公司的金属密封气体质量流量测量仪表和控制器以其独特的、专利全金属密封结构为特征。除此之外，该款流量计还以其高性能、高质量将其与市场上的其它产品区分开来，因此，该款仪器特别适合于半导体产业以及高纯度气体运用场合。质量流量测量仪表和控制器的表体使用的是 1/4" VCR 连接。

最低流量范围0,12...6 ml_n/min
最高流量范围 1... 50 l_n/min

目前市场上的仪表都内置集成数字电路板，从而使仪表具有高精度、超稳定的温度以及快速的反应时间的特点（可设置的时间从 t98 可以低至500 msec）。Bronkhorst最新的EL-FLOW^® 设计风格的产品具有多气体/多范围功能，从而为客户（OEM）提供了可选的灵活性以及高效率工艺。为了方便客户，布琅轲锶特高科技公司还提供了免费的且方便运用的配置软件。

特点

高精确度 (标准 0,5% Rd + 0,1% FS)

可进行重复密封的全金属外部密封结构（无密封圈）

电抛光过流部件

无尘组装

多介质/多范围可调节功能

模拟通讯和数字I/O, 可与如下任意集成接口连接：
DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT^® 或者 FLOW-BUS

无零飘（不需要零点自动调整电路）

高精度、重复性高

可测流量范围(以空气为基准)




质量流量计 (MFM)	量程
型号 F-111CM	min. 0,12 ... 6 mln/min max. 1 ... 50 ln/min

质量流量控制器 (MFC)	量程
型号 F-201CM	min. 0,12 ... 6 mln/min max. 1 ... 50 ln/min







 

 

 

注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途