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光谱反射薄膜测厚仪SR100图1

光谱反射薄膜测厚仪SR100

2020-01-20 23:2317530询价
价格 面议
发货 辽宁朝阳市
品牌 Angstrom Sun
型号 SR100
产地 美国
该产品库存不足
产品详情

特点: 

· 易于安装

· 基于视窗结构的软件,很容易操作

· 先进的光学设计,以确保能发挥出最佳的系统性能

· 基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量

· 独特的光源设计,有着较好的光源强度稳定性

· 有四种方法来调整光的强度:

§ 通过电源的调节旋钮来调节电源输出的大小

§ 在光输出端口滤光槽内调整滤光片来调整

§ 调整光束大小

§ 通过TFProbe软件,在探测器里调整积分时间

· 最多可测量5层的薄膜厚度和折射率

· 在毫秒的时间内,可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数 

· 能够用于实时或在线的厚度、折射率测量

· 系统配备大量的光学常数数据及数据库

· 对于每个被测薄膜样品,用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型(EMA)测量分析;   

· 可升级至MSP(显微分光光度计)系统,SRM成像系统,多通道分析系统,大点测量。

· 通过模式和特性结构直接测量。

· 提供的各种配件可用于特殊结构的测量,例如通过曲线表面进行纵长测量。

· 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。

 

系统配置: 

· 型号:SR100R

· 探测器: 2048像素的CCD线阵列

· 光源:高稳定性、长寿命的卤素灯

· 光传送方式:光纤

· 台架平台:特殊处理铝合金,能够很容易的调节样品重量,200mmx200mm的大小

· 软件: TFProbe 2.2版本的软件

· 通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连

· 测量类型:薄膜厚度,反射光谱,折射率 

· 电脑硬件要求:P3以上、最低50 MB的空间

· 电源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A

· 保修:一年的整机及零备件保修

 

规格: 

· 波长范围:250nm到1100 nm

· 光斑尺寸:500μm至5mm

· 样品尺寸:200mmx200mm或直径为200mm

· 基板尺寸:最多可至50毫米厚

· 测量厚度范围:2nm到50μm

· 测量时间:最快2毫秒 

· 精确度:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)

· 重复性误差:小于1Ǻ

 

应用:                  

· 半导体制造(PR,Oxide, Nitride..) 

· 液晶显示(ITO,PR,Cell gap... ..) 

· 医学,生物薄膜及材料领域等

· 油墨,矿物学,颜料,调色剂等

· 医药,中间设备

· 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... .. 

· 半导体化合物

· 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

· 非晶体,纳米材料和结晶硅

注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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北京燕京电子有限公司

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