应用领域：
Wafer晶片，微流控系统，金刚石工具，汽车气缸，光学镜片，金属表面，机身外观（汽车），粗糙度标准片。
详情见产品手册。
测量系统 | ||||||
测量原理 | 白光干涉 | |||||
纵向测量范围 (um) | 可达400 um | |||||
摄像头参数 | CCD摄像头；1936 x1216像素 | |||||
光源 (um) | LED 542，高亮度，软件控制 | |||||
纵向分辨率 （nm） | PSI模式：0.1， VSI模式： 1.0 | |||||
最大扫描速率（um/s） | 48 | |||||
Z轴方向20um距离测量时间 | 小于3s | |||||
测量头外形尺寸(mm3)： | 235x80x128(HxWxD) | |||||
干涉物镜 | ||||||
放大倍数MAG | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
数值孔径NA | 0.075 | 0.13 | 0.30 | 0.40 | 0.55 | 0.70 |
工作距离WD (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
视场范围FOV (um) | 7023X4524 | 3601X2262 | 1800 X1131 | 900x565 | 360x226 | 180x113 |
像素大小(um) | 3.72 | 1.86 | 0.93 | 0.47 | 0.19 | 0.09 |
横向分辨率(道斯判据) (um) | 3.61 | 2.08 | 0.90 | 0.68 | 0.49 | 0.39 |
软件系统 | ||||||
SmartWLI测量软件 | 基于微软Win7操作系统，64位表面形貌测量软件、三维形貌数据直接传输至MountainsMap®分析软件。 | |||||
SmartWLI-Dell系统 | Dell计算机 + 形貌测量软件，支持主流分析软件：MatLab 或 LabVIEW | |||||
MountainsMap®分析软件 | 主流形貌分析软件，三维轮廓影像输出、测量数据预处理及后续处理、德标（DIN）欧标（ EN） ISO标准粗糙度及台阶高度测量、串行处理并生成报告。 | |||||
输出文件格式 | ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF | |||||
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
