白光干涉测量系统沿着垂直轴向捕获光强数据，通过白光干涉图的形状，局部相位或者两者结合确定表面位置
| Vertical Resolution 垂直分辨率 | 0.1nm 0.1nm |
| Turret 转轮 | upto 6 objective turret (manual or automatic) 6镜头转轮（自动或手动） |
| Scan Range 扫描范围 | Up to 150mm x 150mm zui高达150mmx150mm |
| Sample thickness 试样厚度 | upto 100mm zui高达100mm |
| FOV 视场 | upto 10mm zui高达10mm |
| Objectives 物镜 | 10x,50x 10倍，50倍 |
| Z focussing range Z轴方向聚焦范围 | nm to 10mm 0.1nm到10mm |
| Scanning area 扫描区域 | 150x150mm 150x150mm |
| Tilt 倾斜角 | +/- 7 degree +/-7度 |
| Rotation (theta) 平台旋转范围 | 360 Degree 360度 |
| Pixel 像素 | Standard 1024 x 1024 标准1024x1024 |
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
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