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SSP-1000桌面型磁控溅射系统图1

SSP-1000桌面型磁控溅射系统

2020-01-19 23:458400询价
价格 800000.00
发货 吉林四平市
品牌 AGUS
型号 SSP-1000
产地 日本
该产品库存不足
产品详情

       SSP1000桌面型磁控溅射系统是一种台式紧凑系统,能够以低成本实现高沉积性能。


       其独特的设计允许改变沉积方向(向上,侧向和向下),因此可以在一个简单的装置内进行三个方向的实验。


       由于配备了RF电源,不仅可以溅射金属靶,而且可以溅射诸如Al2O3或SiO2等陶瓷靶材。这种系统设计紧凑,成本低,可用于各种实验。

-多样性-

        由于采用立方体设计,通过简单变化即可选择溅射方向。

        也可以使用磁性靶材(可选)。

        标配1路工艺气体,可配置2路工艺气体。

-性能-

        在基板中φ100mm的区域内,膜厚度的偏差在±5%之内。

        使用标准RF电源提供的脉冲模式,也可以溅射陶瓷类靶材。

        在沉积期间,基底支架可旋转或静止。

-易于使用-

        紧凑的台式设备,易于安装。

        腔室内安装有一个观察口。

        配备阴极保护板以防止在预关闭期间基板的污染。

        与阴极保护板一起工作的溅射计时器用于厚度控制。

注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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凯戈纳斯仪器商贸(上海)有限公司

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