仪器的应用范围：
1.本仪器主要应用于高纯硅烷气体中微量杂质的分析，具体内容详见下表：
| 气体种类 | 需分析的杂质种类 | |||||||||
| He | H2 | O2 | Ar | N2 | CO | CH4 | CO2 | C2 | C3 | SimHn |
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仪器的最小 检测限（PPb） |
15 | 30 | 10 | 50 | 10 | 10 | 30 | 30 | 50 | |
二.系统依据的相关标准:
1、电子气标准
GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》
2.仪器的详细配置（供货明细）：
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仪器名称 型号规格 |
厂家 | 单位 | 数量 | 备注 |
| 氦离子化气相色谱仪GC-126PDD |
上分厂/ 克柔姆 |
台 | 1 | 配备PDHID氦离子化检测器 |
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多柱箱系统 |
上分厂/ 克柔姆 |
套 |
1 |
可以根据分析的需要设置不同的柱箱温度，以满足样品分离的需要 |
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中心切割与 反吹系统: 吹扫十通阀2只; 吹扫六通阀3只. |
VALCO |
套 |
1 |
配备3个带吹扫保护气路的原装进口阀：一次进样，无需更换色谱柱即可完成对氢、氧、氮、氩、一氧化碳、甲烷、二氧化碳等多种样品中痕量杂质的分析。 |
| 专用毛细管色谱分离系统 | VALCO | 套 | 1 |
用于分离硅烷中的微量： 甲硅醚；甲基硅烷；乙硅烷 |
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色谱柱: Hayesep -Q Hayesep -DB 5A;硅烷毛细管柱 |
VALCO |
根 |
6 |
1.可分离样品中的H2、O2 (Ar)、N2、CO、CO2、CH4等杂质 2.CO拖尾处理技术 |
| 硅烷取样系统 | 克柔姆 | 套 | 1 |
专为高纯硅烷色谱分析设计 含吹扫气路与取样气路。 |
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载气(He)纯化器: HP-2 |
VALCO | 台 | 1 | He中杂质含量≤10ppb |
| 载气过滤器 | VALCO | 个 | 1 | 2μm孔径 |
| 样品过滤器 | VALCO | 个 | 1 | 2μm孔径 |
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标准气体: (10PPM) |
克柔姆 | 套 | 1 |
含: H2, O2, Ar, N2, CO, CH4, CO2 |
| 高纯氦气:40L | 用户自备 | 瓶 | 1+1 | 纯度不低于99.999% |
| 高纯氮气:40L | 用户自备 | 瓶 | 1 | 作为VALCO吹扫阀的保护及驱动气使用 |
| 无死体积专用取样阀带吹扫1/8”口 | 克柔姆 | 个 | 4 | 取样时防止空气渗入，带放空结构设计 |
| 载气专用两级不锈钢减压阀1/16”口 | HORO | 个 | 2 | 配:进口 |
| 载气四通切换阀 | 1/16”口 | 只 | 1 | 配:进口 |
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高纯气专用 色谱工作站 |
克柔姆 | 套 | 1 | 自动控制切割、反吹、进样等过程；并实现对色谱主机的操作控制 |
| 电脑与打印机 | 联想/HP | 台 | 1 | 可另选配 |
| 安装调试费：免费 | ||||
| 技术服务及培训费：免费(1.发货前;2.安装调试中;3.公司定期办培训班时.) | ||||
| 随机备品、备件、工具、材料费（附件四）：随机 | ||||
硅烷色谱图谱
有机杂质图谱
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
