客制化超高纯电子特化气体分析仪
1.气体业光电半导体电子级大宗气体(Pure N2/O2/Ar/H2/He)储存槽、纯化器后或制程线上监测(CQC) <10ppb 不纯物杂质
2.气体业光电半导体特殊气体( Pure CO2、SiH4、NH3、CH3F 、N2O 、 NF3 、SF6 、HCl 、Cl2 、SiH2Cl2(DCS) 、SiHCl3(TCS) 、CxFy…) <50ppb 不纯物杂质
3.气体业光电半导体混合气体(Ne Laser Gases、1~5%PH3+H2 、1~5%B2H6+H2/ Ar 、 1~10%GeH4+H2、5%以上AsH3+H2 、各种混合气体…)
4.制药业符合药典要求的氮气及二氧化碳纯度分析
5.医疗气体(O2、N2O)
6.炼油石化气体(UHP H2中<50ppb 不纯物 、Polymer Grade PE/PP聚合级乙烯/丙烯/丁二烯中微量恒常气体成分H2 、O2 、N2 、CO 、CO2)
7.分析仪含分析站房、取样配管设计规划施工等系统整合
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
