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测试仪器仪表厂家-珀金埃尔默携解决方案 推动半导体行业精雕细琢

2021-03-1230佚名仪器仪表网

  【分析仪器网  专题推荐】在本文中,珀金埃尔默半导体行业检测解决方案主要包括:半导体行业无机元素与纳米颗粒检测方案,半导体行业有机物检测方案,半导体行业材料组份检测方案,具体详情简介如下:

珀金埃尔默半导体行业检测方案

  珀金埃尔默半导体行业无机元素与纳米颗粒检测方案

  在半导体器件和化学品制造的分析中,痕量元素杂质的控制对于性能具有至关重要的作用,甚至影响半导体产品的良品率。半导体制造商需要在整个制造过程中拥有检测超痕量污染物的能力,包括晶圆、超纯水、化学试剂、光刻胶、电子特气、封装材料等。半导体工艺的进步,对元素杂质和微粒污染物检测能力提出了更高的要求。

  珀金埃尔默提供的NexION® 5000 化学高分辨多重四极杆ICP-MS,热等离子体条件下可实现半导体必须元素低于1ppt(SEMI F63-0918) 的背景等效浓度。同时,该仪器可以升级,以满足SEMI S2和S8标准。NexION系列ICP-MS可设置低至10μs的信号读取时间,高精度测定抛光材料中悬浮金属纳米粒子的颗粒浓度、尺寸大小和分布信息,为光刻过程保驾护航。

  珀金埃尔默半导体行业有机物检测方案

  半导体行业中使用的有机化合物的纯度杂质影响到相关产品的质量。珀金埃尔默公司Clarus® SQ8气相色谱质谱联用仪具有准确的定性能力和优异的定量精度,是分析有机试剂纯度和杂质的主要分析设备。

  半导体行业使用的有机试剂也会产生相应的挥发性有机物,对生产和环境造成污染,包括AMC、VOCs等。珀金埃尔默公司热脱附仪与气相色谱质谱联用,可实现洁净室或生产区域内空气的在线或离线采集进样,并检测出低浓度(<ppb)的有机污染物。

  珀金埃尔默半导体行业材料组份检测方案

  针对半导体行业的IC封装、显示面板、光伏电池、光学薄膜等领域,珀金埃尔默公司凭借xian进的傅里叶变换红外光谱仪、红外显微镜、紫外可见近红外分光光度计、差示扫描量热仪、热机械分析仪等产品,一如既往为客户提供全面的解决方案,可用于测定固化率、固化热、热膨胀系数、透光率、反射率、微观污染物、成分浓度等。


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