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【仪器信息网 行业应用】本实验参考《GB∕T 39145-2020硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》，采用LabMS 3000s ICP-MS测定硅片表面杂质元素含量。LabMS 3000s采用的加强型离子透镜和偏转技术，结合高性能冷等离子技术和新一代碰撞反应池技术，可有效消除干扰，从而获得更低的检测限、背景等效浓度和准确的超痕量分析结果，保证数据质量。
1.实验
1.1 仪器设备
LabMS 3000s 电感耦合等离子体质谱仪，莱伯泰科
仪器参数，见表1。表1 LabMS 3000s ICP-MS 仪器参数
1.2 样品制备
使用真空吸笔吸取硅片背面，使用移液枪将1ml提取液滴加在硅片正面;手动倾斜硅片，使提取液扫描整片硅片2次;用移液枪将扫描液转移至PFA样品瓶待测。1.3 定量结果对于检出限(DL)、背景等效浓度(BEC)和加标回收率测定结果，建立 0、25、50、100 ppt标准溶液的标准曲线，所有曲线的线性>0.999，证明了分析方法的线性以及能够在低浓度下准确测定。表2显示了16种元素的检出限(DL)、背景等效浓度(BEC)，样品测试结果以及50ppt加标回收率结果。需要注意的是，DL 和 BEC 值不仅反映了仪器的性能，还反映了提取液的污染水平。
对于方法学有效性而言，长期稳定性与 DL 和 BEC 同等重要。通过在15h内每隔20分钟测试QC溶液(硅片提取液加标50ppt)一次，来评估 LabMS 3000s ICP-MS的长期稳定性。图1显示了15h内LabMS 3000s ICP-MS的长期稳定性，所有元素的回收率在80%-120%范围内。
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